三氯氫硅的生產大多采用沸騰氯化法，主要包括氯化氫合成、三氯氫硅合成、三氯氫硅精制等工序。氯氣和氫氣在氯化氫合成爐內通過燃燒反應生成氯化氫，氯化氫氣體經空冷、水冷、深冷和酸霧捕集脫水后進人氯化氫緩沖罐，然后送三氯氫硅合成爐。硅粉經過干燥后加入到三氯氫硅合成爐，與氯化氫在300℃左右的高溫下反應，生成三氯氫硅和四氯化硅。生成的粗三氯氫硅氣體經過旋風分離和除塵過濾后，進入列管冷凝器進行水冷和深冷，不凝氣通過液封送入尾氣洗滌塔，處理后達標排放，冷凝液蒸餾塔分離提純，通常采用二塔連續(xù)提純，一塔塔頂排低沸物，二塔塔底排高沸物四氯化硅，同時塔頂出三氯氫硅產品。

    淄博萬達利特種氣體公司生產的氯化氫在淄博齊魯石化工業(yè)園區(qū)注冊的高新科技企業(yè)，淄博萬達利直屬于北京華宇同方，主要從事新材料技術和化工新技術的研發(fā)，以及高新技術產品的生產和銷售。研發(fā)的沸石催化劑及其應用技術處于世界先進水平。生產的“華宇同方”牌氯化氫氣體產品與國際知名品牌的性能相當，為半導體器件制造業(yè)、光伏產業(yè)和醫(yī)藥工業(yè)提供了充足的優(yōu)質原材料。